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平行曝光燈
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文章出處：萬(wàn)志宇責任編輯：HE
發(fā)表時(shí)間：2017-01-18 15:00:00
平行曝光燈
平行曝光燈是在高壓蒸氣中產(chǎn)生電弧發(fā)光的短弧燈，此類(lèi)燈管具有高輻射、多線(xiàn)光譜、在紫外光區有較高的輻射能量、壽命長(cháng)、高光學(xué)質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn)，適用于全自動(dòng)曝光系統和半導體生產(chǎn)光刻。質(zhì)量保證,保用800小時(shí)以上,長(cháng)效型保用1500小時(shí)以上.該燈光譜范圍主要在325nm~450nm之間
適用于：臺灣志圣，川寶，群翊，日本ORC，HAKUTO，ADTECH，奧特瑪特等平行曝光機
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