牛尾電機正在開(kāi)發(fā)的曝光用LED光源，在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕張Messe會(huì )展中心）上參考展出。有望取代之前使用的汞（Hg）燈。該公司表示，準備開(kāi)拓能發(fā)揮LED光源特點(diǎn)的應用。

  據牛尾電機介紹，展示的曝光用LED光源，其本身的開(kāi)發(fā)已經(jīng)完成，目前正在探索用戶(hù)的使用方法。該LED光源可輸出相當于汞燈g線(xiàn)（波長(cháng)為436nm）、h線(xiàn)（波長(cháng)為405nm）和i線(xiàn)（波長(cháng)為365nm）波長(cháng)的光。目前的光強度相當于輸出功率750W的汞燈。該LED光源的特點(diǎn)是，可改變汞燈中固定的g線(xiàn)、h線(xiàn)和i線(xiàn)的光強度比。另外，雖然與之前使用的汞燈相比初期成本較高，但由于使用壽命長(cháng)，所以可降低運行成本（Running Cost）。此外，其發(fā)熱較低，可實(shí)現節能省空間化。牛尾電機表示，將開(kāi)拓能發(fā)揮這些特點(diǎn)的應用。