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光刻機的工作原理
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文章出處:萬(wàn)志宇責任編輯:HE
發(fā)表時(shí)間:2016-08-09 10:00:00
一般來(lái)說(shuō)是用激光。比如說(shuō)要在玻璃上刻蝕圖形,大致步驟為:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蝕劑(即光刻膠有正性和負性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多,如激光直寫(xiě)、通過(guò)掩模板同時(shí)曝光等)、去膠(光刻膠曝光后性質(zhì)發(fā)生光化學(xué)變化,去膠的方法也很多,如放在刻蝕劑中,用正性膠的話(huà),被光照到的地方就會(huì )被溶解,沒(méi)有光照到的地方光刻膠保留下來(lái),到這里就已經(jīng)在光刻膠上刻蝕出了所需圖形)、清洗、轉移
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